Центр продуктов
Свяжитесь с нами
Электронная почта:
dewokj@126.com
Телефон горячей линии:
400-004-6699
Адрес:
Провинция Хэйлунцзян, город Харбин, район Наньган, улица Хаси, д. 946
МэнцзыФункциональная оксидная плёнка в полости удалённого плазменного источника RPS
Отправить письмо
Описание продукта
Функциональная оксидная плёнка для полости RPS — это специализированная оксидная плёнка, применяемая в полостях RPS с дистанционным плазменным источником в полупроводниковой отрасли. Данное покрытие отвечает восьми ключевым требованиям: отсутствие микротрещин, высокая прочность, стойкость к кислотам, диэлектрические свойства и низкая степень газовыделения — все эти характеристики являются обязательными для обеспечения надёжности процессов производства полупроводников.